《中华人民共和国国家标准:电子工业用气体•氦(GB/T 16943-2009)》的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位:西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:——GB/T16943—1997。
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