先进光学元件微纳制造与精密检测技术

先进光学元件微纳制造与精密检测技术

作者
郭隐彪
出版社
国防工业出版社 版次:第1版
出品方
国防工业出版社
语言
简体中文
装帧
精装
ISBN
9787118096132
重量
662 g
尺寸
25.8 x 17.8 x 2.2 cm
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
1894
更新日期
2022-02-08

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。

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