纳米尺度几何量和机械量测量技术
- 作者
- 赵学增
- 出版社
- 哈尔滨工业大学出版社 版次：第1版
- 出品方
- 哈尔滨工业大学出版社
- 语言
- 简体中文
- 页数
- 284页
- 装帧
- 平装
- ISBN
- 9787560338644
- 重量
- 522 g
- 尺寸
- 25.8 x 18.4 x 1.4 cm
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 5290
- 更新日期
- 2022-03-09
《纳米尺度几何量和机械量测量技术》在总结作者科研工作的基础上，较全面地对纳米尺度线宽（CD）测量，纳米尺度边缘粗糙度（LER）测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量以及微纳尺度固液界面边界条件测量进行了论述。书中多为作者多年从事纳米测量相关研究的科研成果、实践经验与心得体会。
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