赵学增

纳米尺度几何量和机械量测量技术
纳米尺度几何量和机械量测量技术

《纳米尺度几何量和机械量测量技术》在总结作者科研工作的基础上,较全面地对纳米尺度线宽(CD)测量,纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量,纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量以及微纳尺度固液界面边界条件测量进行

赵学增

劳动与资本
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