《中华人民共和国国家标准:真空镀膜设备通用技术条件(GB/T 11164-2011)》中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)归口。本标准负责起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司。本标准参加起草单位:上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院第510研究所、上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所。
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