微电子机械加工系统(MEMS)技术基础

微电子机械加工系统(MEMS)技术基础

作者
孙以材
出版社
冶金工业出版社 版次:第1版
出品方
冶金工业出版社
语言
简体中文
页数
194页
装帧
平装
ISBN
9787502447946
重量
181 g
尺寸
19.8 x 13.8 x 1 cm
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
1414
更新日期
2023-07-10

《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》还详细介绍了电学,热学和力学有限元方法的要领,相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》,可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础,从而可以灵活应用所学知识。MEMS技术是21世纪发展的重大技术,涉及国防、航天、医疗等领域。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的,阐述其功能,所依据的物理原理及定律。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。

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