碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法

碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法

作者
李圣怡
出版社
科学出版社 版次:第1版
出品方
科学出版社
语言
简体中文
装帧
精装
ISBN
9787030391100
重量
422 g
尺寸
24.2 x 17.2 x 1.6 cm
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
7818
更新日期
2023-04-15

本书重点介绍了我们承担的国家重大基础研究项目(973)的研究成果的一部分。是一部专门针对新一代空间光学碳化硅光学材料加工的专著。内容包括:五种典型碳化硅光学材料如碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVDSiC)、反应烧结碳化硅(RBSiC)以及烧结碳化硅(SSiC)的显微结构与力学行为;碳化硅反射镜磨削、研磨、传统抛光与可控柔体加工的材料去除机理与相关工艺;适用于碳化硅反射镜的高效、高精度、超光滑加工工艺路线以及具有代表性的碳化硅光学元件加工实例等。

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