《金属有机化合物气相外延基础及应用》共10章：第1章概述；第2章生长系统；第3章原材料；第4章MOVPE生长热力学和反应动力学；第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化；第6章MOVPE中的表面过程；第7章Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体的MOVPE生长；第8章Ⅱ—Ⅵ族族半导体的MOVPE生长；第9章低维结构的MOVPE生长；第10章MOVPE技术在器件方面的应用。《金属有机化合物气相外延基础及应用》反映了国内外该研究领域的最新进展，并附有大量的参考文献。在写作风格上，以大学高年级学生水平为出发点，突出物理内容，避免冗长公式，深入浅出。
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