GB/T14847-1993重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
- 作者
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 出版社
- 中国标准出版社 版次：第1版
- 出品方
- 中国标准出版社
- 语言
- 简体中文
- 装帧
- 平装
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 1448
- 更新日期
- 2023-08-29
本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
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