GB/T6617-2009硅片电阻率测定扩展电阻探针法
- 作者
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 出版社
- 中国标准出版社 版次：第1版
- 出品方
- 中国标准出版社
- 语言
- 简体中文
- 装帧
- 平装
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 5707
- 更新日期
- 2023-08-29
本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率,测量范围:10-3Ω·cm~102Ω·cm。
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