GB/T16943-2009电子工业用气体氦

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作者
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
出版社
中国标准出版社 版次:第1版
出品方
中国标准出版社
语言
简体中文
装帧
平装
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
1876
更新日期
2023-08-15

本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。

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