张渊

"十二五"职业教育国家规划教材·高职高专"十二五"电子信息类专业规划教材·微电子技术专业:半导体制造工艺(第2版)

本教材简要介绍了半导体器件基本结构、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，以典型的CMOS管的制造实例为基础介绍了集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控

张渊