刘寄生

《多晶硅和石英玻璃的联合制备法》以传统的多晶硅和石英玻璃的生产方法为基础，介绍了多晶硅和石英玻璃联合制备法的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素，提出了降低多晶硅生产成本的几个途径，并总结