夸克(Michael Quirk)

本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的