《中华人民共和国国家标准:关键尺寸(CD)计量方法(GB/T 17864-1999)》等同采用1994年SEMI标准版本“微型构图”部分中的SEMI P24：1994《关键尺寸（CD）计量方法》（CD Metrology procedures）。SEMI标准是国际上公认的一套半导体设备和材料国际标准，SEMI P24：1994《关键尺寸（CD）计量方法》是其中的一项，它将与如下已经转化的八项国际标准： GB／T 15870—1995《硬面光掩模用铬薄膜》（eqv SEMI P2：1986）； GB／T 15871—1995《硬面光掩模基板》（neq SEMI P1：1992）； GB／T 16527—1996《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》（eqv SEMI P3：1990）； GB／T 16523—1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》（eqv SEMI P4：1992）； GB／T 16524—1996《光掩模对准标记规范》（eqv SEMI P6：1988）； GB／T 16878—1997《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》（idt SEMI P19：1992）； GB／T 16879—1997《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》（idt SEMI P21：1992）； GB／T 16880—1997《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》（idt SEMI P22：1993）； 以及与本标准同时转化的GB／T 17866—1999《掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则》（idt SEMI P23：1993）和GB／T 17865—1999《焦深与最佳聚焦的测量规范》（idt SEMI P25：1994）两项SEMI标准形成一个国家标准微型构图系列。 本标准是根据SEMI标准P24：1994《关键尺寸（CD）计量方法》制定的。在技术内容上等同地采用了该国际标准。
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