现代高纯气体制取、分析与安全使用

现代高纯气体制取、分析与安全使用

作者
尹恩华
出版社
科学出版社 版次:第1版
出品方
科学出版社
语言
简体中文
页数
336页
装帧
平装
ISBN
9787030449672
分类
化学工业
重量
358 g
尺寸
21.4 x 14.9 x 1.9 cm
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
7142
更新日期
2023-05-05

本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等,无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心,在制取高纯气体方面,本书介绍国内外最新文献,包括:吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外,书中介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体,使用的安全措施尤为重要,其内容还包括:容器、介质、传感器和废气的节能减排。

现代高纯气体制取、分析与安全使用 EPUB, PDF, TXT, AZW3, MOBI, FB2, DjVu, Kindle电子书免费下载。

《现代高纯气体制取、分析与安全使用》电子书免费下载

epub下载 pdf下载 txt下载 azw3下载 mobi下载 fb2下载 djvu下载