《吸气剂气体吸放性能测试方法(GB/T 25497-2010)》标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。
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