椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法(GB/T 31225-2014)
- 作者
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
- 出版社
- 中国标准出版社 版次：第1版
- 出品方
- 中国标准出版社
- 语言
- 简体中文
- 页数
- 6页
- 装帧
- 平装
- ISBN
- 312252014
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 1081
- 更新日期
- 2023-08-27
《中华人民共和国国家标准:椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法(GB/T 31225-2014)》按照GB／T1.1—2009给出的规则起草。本标准由中国科学院提出。本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC／TC279）归口。本标准起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。本标准主要起草人：金承钰、李威、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
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