硅片局部平整度非接触式标准测试方法(GB/T 19922-2005)
- 作者
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
- 出版社
- 中国标准出版社 版次：第1版
- 语言
- 简体中文
- 页数
- 6页
- 装帧
- 平装
- ISBN
- 155066126922
- 重量
- 18 g
- 尺寸
- 29.6 x 21 x 0.2 cm
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 7021
- 更新日期
- 2023-08-29
《硅片局部平整度非接触式标准测试方法(GB/T 19922-2005)》修改采用ASTM F 1530—94《自动无接触扫描测试硅片厚度、平整度及厚度变化的标准检测方法》。本标准与ASTMF 1530—94相比，仅提供了其有关局部平整度测量的内容，并在硅片尺寸及厚度上与其有所差异。相关术语及测试方法的精密度采用国家标准的规定。本标准的附录A为资料性附录。本标准由中国有色金属工业协会提出。
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