硅片电阻率测定 扩展电阻探针法(GB/T 6617-2009)
- 作者
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
- 出版社
- 中国标准出版社 版次：第1版
- 出品方
- 北京劲松建达科技图书有限公司
- 语言
- 简体中文
- 页数
- 4页
- 装帧
- 平装
- ISBN
- 155066139584
- 重量
- 32 g
- 尺寸
- 29.6 x 21 x 0.3 cm
- 电子书格式
- epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
- 下载次数
- 5695
- 更新日期
- 2023-08-29
《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法(GB/T 6617-2009)》测量仪器和环境增加了自动测量仪器的范围和精度；对原测量程序进行全面修改；删去测量结果计算。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位：南京国盛电子有限公司、宁波立立电子股份有限公司。本标准主要起草人：马林宝、骆红、刘培东、谭卫东、吕立平等。
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