《硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法(GB/T 13387-2009)》代替GB/T 13387—1992,与其相比主要有如下变化:细化了测量范围的内容,如该方法中涉及的公英制单位等;增加了该方法的局限性内容;增加了部分术语,定义了测量中用到的偏移;增加了引用标准;将原标准中的试样改为抽样章节等。
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