高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法(GB/T 24576-2009)

高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法(GB/T 24576-2009)

作者
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
出版社
中国标准出版社 版次:第1版
出品方
北京劲松建达科技图书有限公司
语言
简体中文
页数
6页
装帧
平装
ISBN
155066139798
重量
32 g
尺寸
29.6 x 21 x 0.2 cm
电子书格式
epub,pdf,txt,azw3,mobi,fb2,djvu
下载次数
2052
更新日期
2023-08-16

《高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法(GB/T 24576-2009)》的附录A为资料性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。本标准主要起草人:章安辉、黄庆涛、何秀坤。

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