《薄膜材料:应力、缺陷的形成和表面演化》讲述薄膜在现代技术中有许多重要的应用,例如在微电子器件,磁存储介质和表面材料等,全书全面地介绍了表面的应力及其产生的效应。其中包括表面缺陷的形成和表面的演化。
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