张永刚

半导体光谱测试方法与技术
半导体光谱测试方法与技术

本书首先介绍了光谱学和光谱仪器的发展概况和基本原理,分析了半导体材料、器件及其应用研究工作以及相关研制和生产中对光谱测试的需求,然后论述各种光谱仪器的分类及其工作原理,分别探讨基于分光光谱仪和傅里叶变

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