于月民

压电驱动器是近年发展起来的新型智能微位移器件，具有体积小、推力大、精度及位移分辨率高等特点，是理想的微位移驱动器。《压电式微动机构动力学与仿真分析》阐述了压电堆栈驱动器的工作原理，对PSt 1000／