尹恩华

本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心，在制取高纯气体方面，本书介绍国内外最新文献