顾长志

本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的