董申

《基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术》主要把作者课题组近年来的相关研究工作做了一个阶段性的归纳和总结，内容包括：纳米机械加工表面的微观形貌检测方法；纳米机械加工表层形成机理；基于AFM的纳米机械